1引言
濕度傳感器是根據(jù)某種物質(zhì)從其周圍空氣中吸收水分后引起的物理或化學(xué)性質(zhì)的變化，從而獲得該物質(zhì)的吸水量和周圍空氣的濕度。
濕度傳感器分為電阻式和電容式兩種，產(chǎn)品的基本形式都是在基片涂覆感濕材料形成感濕膜�？諝庵械乃羝接诟袧癫牧虾�，元件的阻抗、介質(zhì)常數(shù)發(fā)生很大的變化，從而制成濕敏元件。濕敏電容一般是用高分子薄膜電容制成的，由于它具有靈敏度高、產(chǎn)品互換性好、響應(yīng)速度快、濕度的滯后量小、便于制造、容易實現(xiàn)小型化和集成化，其精度一般比濕敏電阻要低一些。但電阻對溫度的敏感因而限制了器件在較大溫度范圍內(nèi)的應(yīng)用，因而電容濕度傳感器越來越受到重視。
2 濕敏元件及變送器芯片特性
目前，生產(chǎn)濕敏電容的主要廠家是法國Humirel公司。它生產(chǎn)的HS1101測量范圍是0%～100%RH，電容量由162PF變到200PF，其誤差不大于±2%RH；響應(yīng)時間小于5S；濕度系數(shù)為0.34PF/℃；年漂移量0.5%RH/年，長期穩(wěn)定。圖1為HS1101濕敏電容的濕度-電容響應(yīng)曲線。
濕度變送器采用了美國BB公司生產(chǎn)的XTR105芯片，該變送器具有以下特點：a 工作范圍寬；b 測量精度高；c 電路簡單；d 可靠性好，使用壽命長；e 抗干擾能力強；f 工作溫度范圍寬(-40～+85℃)。
3 濕度測量電路
HS1101在電路中相當(dāng)于一個電容器件，它的電容量隨著所測空氣濕度的增加而增大，為了能將電容的變化轉(zhuǎn)換成電壓的變化，我們設(shè)計了振蕩電路、消除零點電容影響電路、整流電路、積分電路、電壓—電流轉(zhuǎn)換電路、放大電路等，其工作原理簡圖如圖2所示。
3.1 振蕩電路
振蕩電路的作用是將電容的變化量轉(zhuǎn)化為頻率可變的方波。由圖3可知，這是一個非對稱多諧振蕩器�；蚍情TG1工作在電壓傳輸特性的轉(zhuǎn)折區(qū)，把它的輸出電壓直接連接到或非門G2的輸入端。G2即可得到一個介于高低電平之間的靜態(tài)偏置電壓，從而使G2的靜態(tài)工作點也處于電壓傳輸特性轉(zhuǎn)折區(qū)上。反饋環(huán)路中電容使電路在兩個暫穩(wěn)態(tài)之間往復(fù)振蕩。
由于電容充放電的時間T為2.2RC，所以輸出的方波頻率：
可見輸出頻率和電容值成反比。通過這個電路使?jié)穸刃盘栕優(yōu)殡娙葜�，最后變�(yōu)轭l率信號輸出。
3.2 消除零點電容
需要指出的是，圖3所示的濕度傳感器零點電容比較大，靈敏度不夠高，濕度從0%～100%RH，電容的變化量不超過30～50PF。為此，最好將零點電容消除掉，在實際設(shè)計中我們用兩片CMOS4001集成電路對圖3進行改造，具體見圖4。
A、B、C、D 四個點的波形如圖5所示。由圖4中U1的4個或非門組合邏輯可知：
只要調(diào)整C的脈沖寬度，就可以得到D的脈沖寬度，從而可以消除零點電容，經(jīng)過調(diào)制的電容變化信號也就是濕度信號。將同一封裝內(nèi)的門電路U2A、U2B、U2C、U2D并聯(lián)使用，可以擴大CMOS門電路輸出低電平時吸收負載電流的能力。
3.3 線性輸出信號調(diào)理
電路濕度的脈沖信號再經(jīng)過后面的二極管整流、RC積分電路，得到隨溫度變化的電壓。由于信號比較微弱，再經(jīng)過一個同向比例放大器把信號放大，最終把信號調(diào)理為0～3V的輸出。
4 濕度變送器的設(shè)計
在工業(yè)現(xiàn)場，采集到的信號經(jīng)長線傳輸時，往往會產(chǎn)生以下問題：由于傳輸?shù)男盘柺请妷盒盘�，傳輸線會受到噪聲的干擾；傳輸線的分布電阻會產(chǎn)生電壓降。為了解決這些問題，通常用電流來傳輸信號，這就用到了變送器。
本文采用了美國BB公司生產(chǎn)的XTR105作為濕度變送器的芯片，把濕度傳感器輸入的0～3V電壓轉(zhuǎn)換為4～20mA的電流信號輸出。其電路如圖7所示。
濕度傳感器輸出的0～3V電壓通過XTR105芯片的2和13引腳輸入。調(diào)整3和4引腳間的電阻RG和RG1的值，可以改變XTR105芯片的內(nèi)置儀表放大器增益值，從而選定合適的測量范圍。RCM取為1KO，它提供一個附加電壓降，使XTR105的輸入電壓限制在共模方式下的電壓范圍內(nèi)。與RCM并聯(lián)的0.01μF旁路電容用于降低共模噪聲。整個裝置的電壓，電流傳遞函數(shù)為：
其中Rm=RG·RG1/(RG+RG1)，VIN 是VIN+(13引腳)，VIN-(2引腳)兩端輸入電壓。VREG引腳(11引腳)還專門為外部電路提供5.1V的精密電壓，11引腳最大輸出電流為1mA，超過1mA會影響到零輸出電流。
三極管Q1是4～20mA電流回路的主要電流傳導(dǎo)器件，用于吸收回路中的大部分電流。該器件將外部電源電流與XTR105的內(nèi)部消耗嚴格分開。由于外接三極管位于反饋回路中，其參數(shù)不能在臨界點。當(dāng)電源電壓低于36V時，功耗可低一些。IN4048接成的橋式電路可以保證XTR105的電源極性不反接，從而真正實現(xiàn)兩線制。C2為去耦電容，其值是0.01μF，用于降低高頻干擾。負載RL用于將傳送的4～20mA的電流轉(zhuǎn)換為電壓，供后級處理。選擇負載阻抗RL，應(yīng)使得輸出在4～20mA范圍內(nèi)變化時，引腳7和引腳8之間的電壓保持在11.6V～40V的電源電壓范圍內(nèi)。也可以由下式確定最大的RL：
所以取 RL=250Ω。
5 結(jié)語
我們對所設(shè)計的濕度傳感器進行了準確度測量。將濕度傳感器置入TERCHY公司的MHU-SA恒溫恒濕箱內(nèi)，用VAISALA公司的HMP143A高精度濕度測量儀及萬用表對濕度傳感器輸出信號進行測量，結(jié)果見表1。從表1的測試結(jié)果可以看出：該傳感器的測量準確度達到了±2.5%以內(nèi)。
基于HS1101的濕度傳感器及XTR105變送器設(shè)計的電路性能好，線性度高，年漂移量小，可以互換，體積小。而且可在寬溫度，全濕度范圍內(nèi)進行測量，具有溫度補償，提高了傳感器的精度，傳輸距離遠，防靜電特點，所以有很大的推廣價值。
